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In-Line AOI
HOI-6000 Series
- 본 설비는 AMOLED, TFT-LCD, Color Filter 패널 제조공정에서 발생하는 각종 결함을 고속으로 검출하는 장비로서, 고객의 품질관리 및 생산성 향상을 확보하기 위한 In-Line 장비 독창적인 초고속 이미지처리 프로세스 (DDM CORE) 기술과 광학 알고리즘, 고성능 TDI SCAN CAMERA 제어기술을 적용하여 미세 불량을 정확하고 빠르게 검출하고 분류하여 공정상 불량 관리에 매우 효과적인 설비 입니다.
Feature
- 고속 및 고해상도의 16K TDI Line Scan camera 기술
- 다양한 유리원판 크기에 대한 Air floating Stage 비 접촉 이송 기술
- PLC를 사용한 반송 제어로 In-line 반송 안정성 확보
- 고속 Review System (Hyper Review) 구성으로 다량의 Review Image 취득
- 최적화된 감도를 위한 스마트 조명 제어 기술
- 픽셀 Zone 알고리즘을 이용한 사용자 정의 결함 분류 기술
- CD(Critical Dimension) / OVL (overlay) 측정 기능
- 원격 모니터링 시스템 (RONS)
